全世界認可的標準漏孔--氦質譜檢漏儀用
上海睿米儀器儀表有限公司專注于國外高性能檢漏儀、真空泵、真空系統、配套耗材銷售、維護、租賃;以及真空系統設計、高速檢漏系統設計的高科技公司。公司主要員工有多年歐美工作和管理背景。睿米為航天航空,軍工、電子、半導體、醫藥、汽車、空調等眾多領域提供高端服務,用戶包括高校、研究所、國家重點實驗室、國內外的知名廠家等。
幫助你的公司走向世界,幫助世界認可你的公司!睿米提供經過美國國家標準與技術研究院(National Institute of Standards and Technology,NIST)檢測,標定,并頒發標物證書的氦質譜檢漏儀用的標準漏孔(氦),及其他一些氣體的標準物,例如,六氟化硫,氫氣,空氣,二氧化碳等。NIST成立于1901年,從事物理、生物和工程方面的基礎和應用研究,以及測量技術和測試方法方面的研究,提供標準、標準參考數據及有關服務,在國際上享有很高的聲譽。NIST頒發證書的標準物品,廣泛應用于全世界各個國家,涉及生產、制作、檢測、研究等眾多領域,并得到認可。
睿米提供NIST認證的氦質譜檢漏儀用的外置標準漏孔,及部分內置標準漏孔,同時可以定做不同需要的氦標準漏孔。根據不同的應用場合,標漏根據充氣的方式分為,開放式的,可以充氣的,不可充氣的,及定制的特殊標漏。漏率從mbar.l/s
提供標漏的公司是經過ISO 17025 和 AL2A進行認證。所有漏孔提供均提供最高等級NIST(高于各個廠家僅提供廠家證書)。
當前氦質譜檢漏儀廠家,提供的內置標漏或外置標漏,基本都是廠家自己制作的,沒有經過任何標準認證機構進行檢定、認證。如果需要檢定,并提供相關證書,例如NIST的標定,是需要額外增加一筆不小的費用。睿米提供的標準漏孔,都是經過NIST認證的,是公認的標準漏孔。常用的標準漏孔包括內置標準漏孔、外置標準漏孔、吸槍漏孔(sniffer漏孔)及其他一些特殊的漏孔產品。
內置標準漏孔:睿米提供的內置標準漏孔,可以替代當前主流的各個品牌檢漏儀的內置漏孔,例如:INFICON(英福康)、Leybold(萊寶)、Pfeiffer/Adixen(普發/阿爾卡特),Agilent/Varian(安捷倫/瓦里安), ULVAC(愛發科),Veeco等品牌,旗下的各個型號的內置漏孔。睿米提供帶NIST證書的標準漏孔。
外置標準漏孔:睿米提供的外置標準漏孔,需要選定與使用的氦質譜檢漏儀或其他真空設備相匹配的接口,常用漏率在10-4mbar.l/s 到10-7mbar.l/s之間可選。如果有特殊要求,可以協商、定制。睿米提供帶NIST證書的標準漏孔。
吸槍漏孔(sniffer漏孔):常用漏率在10-4mbar.l/s 到10-6mbar.l/s。如果有特殊要求,也可以定做。睿米提供帶NIST證書的標準漏孔。
睿米經營范圍:
1. 進口檢漏儀:Pfeiffer/Adixen(普發)、Inficon(英福康)、Leybold(萊寶)
2. 氣體標準誤(Standard Error)產品:包括氦氣標定漏孔(校準漏孔、標準漏孔),其他氣體標準誤產品
睿米可以為國際國內所有的氦質譜檢漏儀提供美國國家標準局(NIST)標定的標準漏孔,包括:
A)內置標準漏孔
B)外置標準漏孔
C)吸槍漏孔(sniffer漏孔)
所有漏孔提供均提供最高等級NIST A2LA證書(高于各個廠家僅提供廠家證書)。
漏率可以定制E-2~E-12mbar.l/s各種漏率以及各種接口
支持INFICON(英福康)、Leybold(萊寶)、Pfeiffer/Adixen(普發/阿爾卡特),Agilent/Varian(安捷倫/瓦里安), ULVAC(愛發科),Veeco等。
睿米的氣體標準誤產品還可以提供各種氣體產品(SF6,氫氣、空氣、二氧化碳等)。
睿米還可以提供開放式標準誤產品(連接在線氣瓶)以及根據客戶要求提供定制產品(用于工業、實驗室、研究院所產品集成)。
3. 真空泵、分子泵:Pfeiffer/Adixen(普發),Leybold(萊寶)、Edwards(愛德華)
4. 真空備件:包括各種油泵、干泵維修包;分子泵軸承;真空泵油;分子泵潤滑脂、分子泵油、各種關鍵零部件、電路板
5. 維修服務:檢漏儀/真空泵/分子泵(普發/阿爾卡特、愛德華、EBARA、希赫、萊寶、英福康)。提供電子電路級別維修,高于原廠維修品質的服務,減少客戶等待時間,節省客戶成本。
6. 備機服務:我們提供真空泵、檢漏儀備機服務,滿足客戶緊急需求。
7. 真空檢漏服務、系統設計。睿米提供專業的真空設備以及檢漏服務,以及豐富經驗的檢漏專家,可以為客戶提供現場大型管路、真空腔體,小至元器件的檢漏服務以及方案設計。
氦質譜檢漏儀特點和優點
l 核心部件—分子泵,采用原裝進口檢漏儀專用的分子泵。
l 美國AD放大器,有效降低了檢漏儀本身的噪音,提高了檢漏儀的靈敏度。
l 180度非均勻磁場的質譜室設計,對焦準確,靈敏度高。
l 檢漏口耐壓高,可檢漏率量程寬,大漏小漏全可檢。
l 離子源燈絲采用氧化釔銥金燈絲,壽命長、靈敏度高。
l 檢漏狀態下獨特的三屏切換,信息更豐富,檢漏更方便。
l 具有快速清氦功能和快速響應功能。檢漏狀態一鍵清零。
l 全自動液晶觸摸彩屏顯示,實現了智能自動化,操作方便、簡單可靠。
l 中英文菜單。
BW-930型氦質譜檢漏儀 | |
主要技術指標: 1. 最小可檢漏率:8×10-13Pa·m3/s 2. 漏率顯示范圍:1×10-3—1×10-13Pa·m3/s 3. 啟動時間:≤3min 4. 響應時間:≤1.0s 5. 檢漏口的最高壓力:1000Pa 6. 電源要求:220v,50Hz,單相,10A 7. 機械泵抽速:4L/S 8. 工作環境:5-35℃ 9. 相對濕度:≤80% 10. 外形尺寸:600(W)×560(D)×1000(H) 11. 重量:65kg | 主要配置:
1. 進口分子泵 2. 萊寶機械泵 3. 內置標準漏孔 4. 定制電磁閥 5. 美國AD放大器 6. 采用質譜專用模塊 7. 觸摸彩屏顯示
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氦質譜檢漏儀 型號:M2062 | |
這是在61mZQJ-230型基礎上用電磁閥體代售侗族和閥而發展的一個型號。電磁組合閥及其控制系統可以預置預抽到檢漏的轉換壓力值,在真空度到達設定值時,自動轉換到檢漏狀態,故只需交替操作“檢漏-放氣”和“放氣”兩個鍵,便可實現檢漏過程的自動化,避免了手動操作中可能出現的誤操作。此外,還有延長與抽時間的控制和檢漏過程中防止試件真空變差的自動保護等功能 產品參數 最小可檢漏率(對He): 〈=5*10-11Pa.m3/s 漏率顯示范圍:2*10-11---9.8*10-5Pa.m3/s 響應時間:〈=4s 啟動時間:<=8min 允許檢漏口的壓力:20Pa 電源要求:220V,50Hz,單相,10A 工作環境:5-35攝氏度 相對濕度<=80% 外形尺寸:540(W)*500(D)*950(H)mm 產品介紹 61MZQJ-230D型氦質譜檢漏儀采用逆擴散檢漏,所以能在較高壓力下開始檢漏。儀器本身的高真空系統采用了渦輪分子泵和機械泵組成的排氣系統,啟動快。它采用電動組合閥完成檢漏的全過程操作(預抽、檢漏和放氣)。用50個發光條和相應的數字量程指數顯示漏率。ZQJ-230D既可抽空檢漏,亦能吸槍檢漏 | 產品圖片 ![]() |
主要配置:
1.進口復合型分子泵
2.優成機械泵
3.配置標準漏口
4.專業放大器
5.采用質譜專用模塊
主要技術指標:
最小可檢漏率:6×10-13Pa·m3/s
漏率顯示范圍:9.8×10-5—3×10-13Pa·m3/s
啟動時間:≤5min
響應時間:≤1.5s
檢漏口的壓力:2000Pa
電源要求:220v,50Hz,單相,10A
工作環境:5-35℃
相對濕度:≤80%
外形尺寸:580(w)×390(D)×320(H)
重量:42kg
特點及優點:
●采用檢漏儀定制分子泵,能極大地提高對氦氣的感應速度,改善氦本底的清除時間,阻斷氦氣對質譜室的污染。
●全自動液晶觸摸彩屏顯示,實現了智能自動化,操作方便、簡單。
●離子源燈絲,采用氧化釔銥金燈絲,使離子源壽命更長、靈敏度更高。采用這一技術是我國目前生產檢漏儀的一家,達到國際水平。
●電磁閥采用專門設計,檢漏儀專用,更科學、更。
●180度磁場的質譜室設計,最大限度提高檢漏儀的效果和反應時間。
●電氣部件采用一塊式設計,使維護更方便,信號干擾更少,檢漏效果更好。
●放大器采用本公司自主研發,降低了檢漏儀本身的噪音,提高了檢漏儀的靈敏度和檢漏效果。
●產品具有快速清除本底的功能。在一般檢漏情況下,本儀器不需要按下調零鍵,就能快速清除氦本底信號,這一技術在國內是首創。
名稱:氦質譜檢漏儀 型號:RBLD201 儀器資料: 適用于大多數測試系統的配置, RBLD系列在大多數常用測試條件下都可提供快速和高重復性的結果。可配置于粗檢和精檢模式,在每個模式中寬的靈敏度范圍可使用靈活的測試技術。的線性特性可在不同的漏率要求下對各部件每個漏點進行無需再校準的檢漏。
RBLD系列具備完善的系統監測和本機診斷功能。儀器精細地監測與控制運行過程中的關鍵參數。診斷碼自動提示,提供的診斷碼結合用戶手冊便于進行故障查找。獨特的渦輪分子泵和及其電子學單元最長的在機運行時間。簡單與牢固的雙流式渦輪分子泵提供轉子位置無比的高穩定性和抗震性,大大地延長了渦輪泵的使用壽命。
操作方式:觸摸屏中文界面
外形尺寸:RBLD201:46x87x61/RBLD301:67x32x60 (寬 x高 x 深) 厘米
質譜儀:180° 磁偏轉
燈絲:2根敷氧化釔的銥陰極
真空連接:DN 16 KF / DN 25 KF
電源電壓:AC220V(±10%)
頻率:50/60 Hz
功率:RBLD201:<800W/RBLD301:<500W
最大進氣口壓強:粗檢模式:1500Pa/低靈敏度 (純逆向氣流):100Pa/高靈敏度(順流檢漏):30Pa
預熱時間:≤ 3分鐘
可檢氣體:He2 He3 He4
最小可檢漏率: 低靈敏度(純逆向氣流):2.0×10-09 Pam3/s;靈敏度(順流檢漏):2.0×10-11 Pam3/s
測量范圍:2.0×10-11 Pam3/s-------2.0×10-02 Pam3/s
響應時間 (至訊號的63%) :<1秒
主要配置
氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點,達到了細檢漏的目的。
二 系統配置: ASM142氦質譜檢漏儀主要包括以下器件:
序號 | 設備名稱 | 序列號 | 數量 |
1 | ASM142氦質譜檢漏儀主機(包括一臺機械泵、一臺分子泵、一個質譜室、信號放大器等儀器必須的部件。) | T0R00000B810 | 一套 |
2 | ALCATEL 200號油(1升/桶) | 068694 | 1桶 |
3 | 燈絲 FILAMENT | 053146 | 1備1用 |
三 技術規格:
| 靈敏度: | 5.0×10-12mbar.l/s |
| 漏率顯示范圍: | 5 ×10-12 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He) |
| 達到檢漏的時間(空盒時): | 小于30秒 |
| 發射電流顯示: | 0.2—2mA |
| 檢漏口對氦氣的抽速: | 1.3升/秒 |
| 啟動時間: | 小于3分鐘 |
| 接口尺寸: | DN 25 KF |
| 外觀尺寸: | 510´343´428mm |
| 重量: | 56Kg |
| 電源: | 220V 50Hz 單相 |
| 符合美國真空標準AVS2.1 以及國際標準ISO3530的標準。內置式標準漏孔,帶自動溫度補償系統。開機3分鐘后完成全部準備工作。數顯工作界面;數字顯示漏率,帶音頻報警。所有工作參數可以通過菜單設定和修改。可以設置報廢點。質譜室自動保護:有效防止大氣突然沖入對燈絲及質譜室的損害。 |