作為載氣的高純氬氣以一定流速流經(jīng)處在高頻振蕩電磁場中的石英管時,在管外施加1500v高電壓,使石英管內(nèi)氬氣原子在100兆赫的高頻電磁場振蕩下運動,由于氬原子的電離能低于受振蕩后的平均自由程能量,因而氬原子在管內(nèi)被電離形成離子、電子及中性粒子的混合氣體---等離子體,并且氬原子受激發(fā)放電產(chǎn)生弧光。當(dāng)被測氣體經(jīng)分離柱后進入檢測器中時,由于性氣體雜質(zhì)的分子n2,h2,ch4等吸收并粹滅弧光,而o2和co分子受激發(fā)后產(chǎn)生增強弧光。所產(chǎn)生光的強度變化與被測成分濃度成正比,故可以借此進行雜質(zhì)定量分析。此種檢測器被稱為高頻氬放電檢測器
更新時間:2025-05-14