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高密度等離子體化學氣相沉積系統
orion proxima 高密度等離子體化學氣相沉積系統填孔能力以及高沉積速率
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熱原子層沉積系統
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部件鍍膜設備
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卷對卷濺射系統
本裝置在真空狀態中對pet film,以ito或metal coating的設備, heating, plasma etching, sputter工序可以.
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自動薄膜沉積簇工具
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