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齊全PlasCalc系列等離子體監控器/光纖光譜儀/紅外觀察儀/濾光片/博盛

 

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    | 探測器 

    PlasCalc系列等離子體監控器

     

    產品特點

     

    • 1.0nm(半最大值全波)光學解析度
    • 200~1100nm波長范圍
  • 快速建立和保存實驗方法
  • 調制步驟編輯
    調制步驟編輯工具可以使用戶簡單、快速地設置、建立和保存實驗方法。利用該工具可以對多數復雜的等離子體過程建立簡便而的步驟設置:例如測量薄膜沉積情況、監測等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監測反常的污染和排放現象等。
     
    用于簡單的等離子體診斷的多重工具
    PlasCalc型監控器配有操作軟件,所提供的完整的公式編輯器可以進行所有需要的數學和算法功能。我們同時提供一個可選配的放射波長數據庫,可以另外單獨購買,它能夠提供種類的鑒定;而波長編輯器則使用戶完成信噪比的優化。操作界面包含兩個窗口,可以同時顯示真實的光譜和所有控制過程信息。
     
    產品規格

     

    光譜范圍
    2001100nm
    光學解析度
    1.0nm(半最大值全波)
    數字/模擬轉換器
    14 bit
    數字輸入/輸出
    8 x TTL
    模擬輸出
    4 x [0-10V]
    連接方式
    USB 1.1
    USB 1.1
    電力消耗
    12V直流電,1.25A
    電力需求
    90240V交流電,50/60Hz
    尺寸
    257 mm x 152 mm x 263 mm
    重量
    5 kg

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