儀器介紹: Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI（專利技術的相位相干算法）干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數(shù)據(jù)存儲器件，半導體器件，光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。
MMD-220A型輪廓儀通用型 常規(guī)參數(shù):圓弧處理（半徑、圓心距等）、點線處理、角度處理、直線度、凸度、對數(shù)曲線、倒角R、倒角坐標
導軌直線性：≤0.2чm/100mm示值誤差：0.6%-0.15%±2чmZ量程：10mmZ向分辯率/量程:1/65536X向量程：≤220mmX向光柵分辯率：1чm附件：調(diào)偏工作臺、綜合調(diào)整臺、精密V形工作臺、球測頭、斜測頭、錐測頭
MMD-100B 型 輪廓儀 高精度型 常規(guī)參數(shù):圓弧處理（半徑、圓心距等）、點線處理、角度處理、直線度、凸度、對數(shù)曲線、倒角R、倒角坐標導軌直線性：≤0.2чm/80mm
示值誤差：0.8%-0.1%±2чmZ量程：10mmZ向分辯率/量程:1/65536X向量程：≤100mmX向光柵分辯率：1чm英國附件：調(diào)偏工作臺、綜合調(diào)整臺、精密V形工作臺、球測頭、斜測頭、錐測頭
MMD-220B 型 輪廓儀 高精度型 常規(guī)參數(shù):圓弧處理（半徑、圓心距等）、點線處理、角度處理、直線度、凸度、對數(shù)曲線、倒角R、倒角坐標
導軌直線性：≤0.15чm/100mm示值誤差：0.5%-0.1%±1чmZ量程：10mmZ向分辯率/量程:1/65536X向量程：≤220mmX向光柵分辯率：0.05чm英國附件：調(diào)偏工作臺、綜合調(diào)整臺、精密V形工作臺、球測頭、斜測頭、錐測頭