| 主要特征： ? 核心零部件及軟件全部原裝進口 三軸導軌均采用高精密天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性 開放式金屬光柵尺，更接近花崗巖基體的熱膨脹系數，提高了設備的穩定性 ? X、Y導軌采用矩形導軌立裝，最大的抗彎強度 ? X、Y、Z導軌采用四面氣浮塊環布形式，運動直線度 ? 配合三軸氣動鎖緊，三軸均設有微進給結構，將手動的方便快捷與自動的精度相結合 ? 顯示器與機臺一體化的設計，符合人機工程學原理，操作的便捷性 ? 測量軟件操作簡便，運行 規格型號與技術指標:
注：工作環境為 溫度（20±2）℃，濕度55%-65%
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