不同于薄膜沉積監(jiān)測儀, 薄膜沉積控制儀利用閉環(huán)回路可進行鍍膜過程中的沉積速率及膜厚的控制.MDC-360, MDC-361 和 MDC-370是Maxtek三 種型號的薄膜沉積控制儀. MDC-360 是基本型,前面輸入,操作簡單, 功能全.? MDC-361是 簡化黑箱型,無輸入鍵盤, 需通過計算機接口控制. MDC-370為擴展型,可接 控制六個沉積源.
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http://www.leyfond.com/hzhb/Maxtek/Deposition-Controller.htm